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MOS晶體管的最高工作頻率被定義為：當對柵極輸入電容CGC的充放電電流和漏源交流電流的數值相等時，所對應的工作頻率為MOS晶體管的最高工作頻率。這是因為當柵源間輸入交流信號時，由源極增加(減少)流入的電子流，一部分通過溝道對電容充(放)電，一部分經過溝道流向漏極，形成漏源電流的增量。因此，當變化的電流全部用于對溝道電容充放電時，晶體管也就失去了放大能力。